Optisches Oberflächenform-Messgerät für Prüflinge bis (1600 x 1200) mm

 

Das Gerät dient zur berührungslosen optischen Messung der Verbiegung (=Warp) liegender, beschichteter Floatglasscheiben. Dazu wird der Höhenunterschied an verschiedenen Messstellen ausgewertet.

Der Warp ergibt sich aus der Differenz zwischen dem höchsten und niedrigsten Punkt.

 

Hardware

Das Messgerät besitzt eine ebene Platte zur Auflage des beschichteten Substrates. Die maximale Substratgröße beträgt 1600mm x 1200mm.

Die Unebenheit der Platte beträgt weniger als 100 μm. Die Konstruktion der Auflagefläche gewährleistet die einfache Ablage und Entnahme des Glassubstrates. Um das Substrat immer an der gleichen Stelle zu positionieren, ist eine Zentriervorrichtung in Form von Anschlägen vorhanden.

 

Da die Reflektion der Beschichtung nicht homogen ist, kann die Software sowohl niedrig- als auch hochreflektive Bereiche auf dem Glas verarbeiten.

Die Messung der Verbiegung des beschichteten Substrates läuft nach dem Starten selbstständig ab. Das Messgerät ist dabei in der Lage, die komplette Substratfläche zu vermessen. Die Höhe der Oberkante des Prüflings über der Platte beträgt bis zu 20 cm, um bei Bedarf einen Unterbau, der gewisse Prozesssituationen nachbildet, bei der Messung verwenden zu können.

Das Messgerät ist unempfindlich gegenüber Schwingungen und kann daher in der Fertigung eingesetzt werden.

Die Bedienung des Messgerätes erfolgt PC- gesteuert, welcher Teil des

Lieferumfanges ist. Hierbei besteht die Möglichkeit, verschiedene Messroutinen zu definieren und zu benutzen. Nach Beendigung der Messung wird die Substratoberfläche graphisch dargestellt und die Verbiegung als Differenz des höchsten und tiefsten Punktes ausgegeben.

 

Software

Die Software übernimmt die Positionierung des Messkopfes und die Messwertaufnahme. Aus den Positions- und Messwertinformationen wird der Warp berechnet und die Glasoberfläche dargestellt. Innerhalb des Messprogramms ist es möglich, verschiedene Messroutinen mit unterschiedlicher Stützstellendichte zu erzeugen, zu speichern, aufzurufen und zu verwenden.

Das Messprogramm ist in der Lage, Exceltabellen mit folgenden Informationen zu

erzeugen, anzuzeigen und zu exportieren: Substrat- ID (Eingabe durch Benutzer), Anlage (Eingabe durch Benutzer), Messzeitpunkt, Warp und XY Koordinate wo Z=Maximal.

Bei Bedarf sind alle Messpunkte eines Substrates zur nachträglichen Verarbeitung exportierbar. Die vermessenen Oberflächen sowie die daraus ermittelten Verbiegungen sind exportierbar und auch später aus den gespeicherten Daten wieder aufrufbar.

Die Messergebnisse werden mit einer Auflösung von 0,01 mm und die Messpositionen mit einer Auflösung von 1 mm angegeben. Der

Messkopf wird automatisiert zur Messposition bewegt und der Messwert

aufgenommen.

 

Technische Daten

 

Maximale Prüflingsgröße: 1600mm x 1200mm

Unebenheit der Auflagefläche: ≤ 100 µm

Auflösung Warpmessung: 10 µm

Auflösung Messposition: 1 mm

Standartabweichung Wiederholbarkeit: ≤ 20 µm*

Reproduzierbarkeit des Messergebnisses: ≤ 100 μm**

 

 

* Die Wiederholbarkeit wird bestimmt, indem ein Bediener ein und dieselbe Messung 50-mal durchführt

 

** Die Reproduzierbarkeit des Messergebnisses wird bestimmt, indem mindestens elf Produktionssubstrate in randomisierter Reihenfolge mindestens drei Mal gemessen werden