Optische Messgeräte · Bildverarbeitung · Softwareentwicklung

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COMEF ist eine Bildverarbeitungs­software mit hochgenauen Grauwert­algorithmen. Diese sind besonders geeignet, den Abstand und die Breite von Leiterzügen, Strukturen auf Siliziumwafern oder Kantenlagen subpixelgenau zu bestimmen.

 

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Beschreibung

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Software zur Linienbreitenmessung

Beschreibung

Software zur Messung von Linenbreite und Rastermaß

COMEF ist eine Bildverarbeitungssoftware. Das Zusatzmodul »Breitenmessung« dient speziell zur hochgenauen Messung von Rastermaßen, Strukturbreiten, Überdeckung, Linienbreiten und Kantenabständen.

Die hohe Messgenauigkeit dieser Messfunktion wird durch den Einsatz von Grauwertalgorithmen erzielt.

Auf Basis der Grauwertalgorithmen können Kantenlagen und auch Kanten- oder Strukturabstände subpixelgenau bestimmt werden.

Neben den hochgenauen Messfunktionen bietet COMEF komfortable Dokumentationsfunktionen für die Messergebnisse in Form von Messprotokollen, Messwertspeicherung als txt-File und der Beschriftung der Videobilder mit Messwerten und Messmarkierungen.

Messmikroskop mit Breitenmesssystem¦

Im Bild ist das Messfenster zu sehen (rotes Rechteck) und die zugehörige Grauwertverteilung im Messfenster.¦Gemessen wird nicht mehr im Videobild, sondern anhand der Grauwertverteilung.

Messgenauigkeit

Bei der Abstandsmessung anhand von Grauwertverteilungen lässt sich folgender Zusammenhang herleiten:

 

ΔXG= P / (nG * β´) (2)

 

mit: ΔXG= Antastunsicherheit mit Grauwertverarbeitung, P=Pixelabstand auf dem CCD-Chip, β´=Abbildungsmaßstab, nG=Anzahl Grauwerte

 

Beispiel: 6µm Pixelgröße, Abbildungsmaßstab 10

 

Bei üblicherweise 256 Graustufen im digitalen Bild ergibt sich daraus die theoretische Grenze für die Antastunsicherheit einer Kante zu ΔXG= 6µm / (256 * 10) = 0,00234 µm. In Pixeln ausgedrückt ist das 1/2560 Pixel.

In der Praxis wird dieser Wert natürlich nicht erreicht. Der tatsächlich erreichbare Wert ist besonders für diese Messfunktion sehr vom Objektkontrast abhängig. Das geht auch aus der Formel hervor. Auflösungen von Pixel/10 bis Pixel/20 sind aber ohne weiteres nachweisbar.

Egal ob manuelle Messung oder Messung mittels Grauwertverarbeitung, COMEF ist das ideale Werkzeug zur hochgenauen Vermessung digitaler Bilder.