Optische Messgeräte · Bildverarbeitung · Softwareentwicklung

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OEG GmbH

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Vollautomatisches Kontaktwinkel-Messgerät für Silizium Wafer bis 12 Zoll

 

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SURFTENS HL automatic

Kurzbeschreibung

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Kurzbeschreibung

Das vollautomatische Kontaktwinkelmessgerät speziell für den Einsatz in der Halbleitertechnologie

Das Kontaktwinkelmesssystem SURFTENS HL Automatik ist für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und -forschung konzipiert, insbesondere zur Prozesssteuerung der Waferbeschichtung und im photolithografischen Prozess.

 

Es zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:

- Vollautomatische Kontaktwinkelmessung und -Mappings

- platzsparende Konstruktion

- motorisierter Wafertisch x / phi zur automatischen Probenpositionierung

- motorisierte automatische Dosiereinheit

- automatische Tropfen-Platzierung

- Software-gesteuerteste vollautomatische Messsequenz

- komfortable Dokumentation der Messergebnisse in Protokollen und in den Videobildern

 

 

 

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